白光干涉儀目前在3D檢測領(lǐng)域是精度zui高的測量儀器之一，在同等系統(tǒng)放大倍率下檢測精度和重復精度都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡，在一些納米級和亞納米級的超精密加工領(lǐng)域，除了白光干涉儀，其它的儀器無法達到其加工精度要求。
 

　　白光干涉儀基本原理：

　　是用于對各種精密器件表面進行納米級測量的儀器，它是以白光干涉技術(shù)為原理，光源發(fā)出的光經(jīng)過擴束準直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束，一束經(jīng)被測表面反射回來，另外一束光經(jīng)參考鏡反射，兩束反射光終匯聚并發(fā)生干涉，顯微鏡將被測表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌。
 

　　白光干涉儀產(chǎn)品用途：

　　結(jié)合光學顯微鏡與白光干涉儀功能的掃描式白光干涉顯微鏡，結(jié)合顯微物鏡與干涉儀、不需要復雜光調(diào)整程序，兼顧體積小、納米分辨率、易學易用等優(yōu)點，可提供垂直掃描高度達400um的微三維測量，適合各種材料與微組件表面特征和微尺寸檢測。
 

　　白光干涉儀的測量應(yīng)用：

　　以測量單刻線臺階為例，在檢查儀器的各線路接頭都準確插入對應(yīng)插孔后，開啟儀器電源開關(guān)，啟動計算機，將單刻線臺階工件放置在載物臺中間位置，先手動調(diào)整載物臺大概位置，對準白光干涉儀目鏡的下方。
 

　　白光干涉儀的特點：

　　1、非接觸式測量：避免物件受損。

　　2、三維表面測量：表面高度測量范圍為 1nm ---200μm。

　　3、多重視野鏡片：方便物鏡的快速切換。

　　4、納米級分辨率：垂直分辨率可以達0.1nm。

　　5、高速數(shù)字信號處理器：實現(xiàn)測量僅需幾秒鐘。

　　6、掃描儀：閉環(huán)控制系統(tǒng)。

　　7、工作臺：氣動裝置、抗震、抗壓。

　　8、測量軟件：基于windows 操作系統(tǒng)的用戶界面，強大而快速的運算。